Nationaal instituut voor subatomaire fysica

Faciliteiten van de afdeling Mechanische Technologie

Hieronder volgt een opsomming van de belangrijkste apparatuur in de instrumentmakerij. Afgezien van deze lijst is er uiteraard nog een veelvoud aan speciaalmachines aanwezig.

Materiaalbewerking

♦ CNC frezen tot 2000 x 700 x 1000 mm
♦ CNC draaien
♦ Conventioneel tot 575 x 1500 mm 
♦ Kanten, zetten, knippen tot 2400 mm lengte en 3 mm dikte
♦ Diverse lasmachines (orbitaal-, punt-, plasma-, mig- en tig-) tot 480 ampère
♦ Ponsen, uitlading 500 mm 
♦ Diverse ovens tot 1500 x 1500 x 1500 mm en 1250° Celsius
♦ Tapmachines vanaf M1

CNC draaien
CNC frezen

3D meten

♦ 3D meten tot 1200 x 2000 x 1000 mm

Verwerken van wafers en andere micro-elektronica

♦ Wire bonden; Delvotec 6320, Hesse and Knipps BJ820, TPT HB16 en Mech-El 907
♦ Phenom Elektronenmicroscoop
♦ Buehler IsoMet 4000 Dicing Saw
♦ Buehler Beta slijp/polijstmachine
♦ March PX-250 Plasma Cleaner
♦ Dage 4000 Pull/Shear tester
♦ Pull Tester Royce 220
♦ Suss 300 mm Wafer prober en Micro manipulator 200 mm wafer prober
♦ Diverse optische microscopen
♦ Pick an Placer Cammax Precima DB 600

De bondingruimte

Nikhef beschikt in totaal over dertien cleanrooms tot klasse 1.000. De cleanrooms beschikken over een ESD veilige vloer en hebben een oppervlakte tot 170 m2. Een aantal van deze cleanrooms heeft ook conditionering van de vochtigheid en/of een zeer nauwkeurige temperatuurcontrole.

Meer informatie? Neem contact op met de afdeling.